行星齒輪傳動的重量通常與齒輪的重量成正比，齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關系。例如，在相同的功率下，滲碳和淬火齒輪的重量約為淬火和回火齒輪重量的1：3。因此，根據行星減速器的結構特點和齒輪的載荷特性，硬齒面齒輪應該得到廣泛的應用。硬齒面齒輪的熱處理方法有表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等。應根據行星齒輪減速器的特點進行選擇。

　　1.表面淬火

　　有兩種常用的表面淬火方法：高頻淬火(小尺寸齒輪)和火焰淬火(大尺寸齒輪)。當表面淬火硬化層包括齒根底部時，效果最好。表面淬火的常用材料是碳質量分數為0.35%≤0.5%的鋼，齒面硬度可達45~55 HRC。

　　2.滲碳和淬火

　　滲碳淬火齒輪具有相對最大的承載能力，但必須采用精加工工藝(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。

　　滲碳淬火對齒輪彎曲疲勞強度的影響不僅提高了中心的硬度，而且表面存在殘余壓應力，從而減小了齒輪最大拉應力區(qū)的應力，因此，磨削齒時不能磨齒根部，滾齒時應使用殘余磨削滾刀。

　　3.滲氮

　　滲氮可以保證齒輪在最小變形條件下獲得較高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不能再進行終修，從而提高了齒輪的承載能力。這對不易研磨的內齒輪具有特殊的意義。

　　4.嚙合齒輪的硬度組合

　　當大齒輪和小齒輪都是軟齒面時，齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。當齒輪都是硬齒面，硬度較高時，兩輪的硬度相同。

　　行星減速機材料的選擇有利于提高減速器的承載能力和使用壽命。